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激光干涉仪的特点及工作原理

更新时间：2021-03-02

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&苍产蝉辫;　　一、的特点：

　　1、是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是*的高精度、高灵敏度的检测手段，在制造领域应用广泛。

　　2、产物具有测量精度高、测量速度快、测速下分辨率高、测量范围大等优点。通过与不同的光学组件结合，可以实现对直线度、垂直度、角度、平面度、平行度等多种几何精度的测量。

　　3、在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测，可以进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等，具有*的精度和效率，为机床误差修正提供依据。

　　二、激光干涉仪的原理：

　　1、激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜。

　　2、这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。

　　3、若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

　　总结：激光干涉仪的特点及工作原理。看完本文您就应该有了基本的认识和了解相信大家都明白了吧！总的来说，希望对大家有所帮助。